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一方，三角測量式レーザ変位計には，高周波数の「ノイズ」状の測定誤差が生じる問題点が知られています．その大きさは，測定対象の材質や性状によって異なりますが，図1の例では±20um程度もあります．この誤差は再現性が高く，ランダムな「ノイズ」ではありません． 最初に，三角測量式レーザ変位計のノイズ状の測定誤差は，レーザ光が相互干渉して反射光に濃淡が生じる「スペックルノイズ」が原因であることを示すモデルを作りました．図2は，CCDセンサを測定対象面と平行に，距離の変化が生じない方向に移動したときの，受光画像を示しています．雲が流れるように見えるのがスペックルノイズで，これを距離の変動と誤認してしまうことが，図1のノイズ状の測定誤差の原因です． また，CCDセンサをレーザ光軸に関して対称な位置に2つ設置することで，スペックルノイズが測定値に及ぼす影響をキャンセルし，スキャニング測定時の誤差を低減する方法を考えました．市販の三角測量式レーザ変位計を2つ使った試験を行った他（図3），2次元CCDカメラを用いて，原理的な効果と限界を調べる実験を行いました（図4）． 北川 善智 君（2014年3月卒業）と研究を行いました（2015年3月）． 
図1: 触針式表面粗さ測定機（左図）とレーザー変位計（右図）の測定結果の比較の例．表面粗さが十分小さい鋼のブロックゲージ（Ra 0.01um以下）の断面曲線の比較．レーザ変位計の測定結果（左図）には，短い周期で±20um程度の変動がありますが，これは測定誤差です．右図の青線と緑線は，同じ位置を2回測定を繰り返したときの比較ですが，再現性は高く，ランダムな測定誤差ではありません． 
図2: レーザのスペックルノイズの例．図4のセットアップを使って，CCDカメラで観察したレーザ光の反射光です．ここでは，レーザ変位計を測定対象面と平行に，距離の変化が生じない方向に移動しています．それに伴い，雲が流れるように見えるのがスペックルノイズで，これを距離の変動と誤認してしまうことが，図1のノイズ状の測定誤差の原因です． 
図3: スペックルノイズの影響を低減するために，CCDセンサをレーザ光の両側に2つ設置し，検出された反射光の変位の差を取ることを考えました．工作機械の主軸に2つの市販のレーザ変位計を取り付け，計測実験をしている様子です． 
図4: CCDセンサを2つ用いる方法の効果と限界をより調べるために，2次元CCDセンサを持つカメラを2つ設置した実験の様子です．工作機械の主軸に測定対象を取り付け，テーブル上に2つのカメラをレーザ光に対称に設置しています． | |||||
