|
|||||
| |||||
|
しかし，一般的なリニアエンコーダと同様，交差格子スケールにおいても主に蒸着時の格子の配列誤差によって，決して無視できない測定誤差が存在する可能性があります．一般的なリニアエンコーダの場合，基準となる測定器との比較によって，測定誤差をキャリブレーションする「値付け」が行われますが，交差格子スケールの2次元測定精度をキャリブレーションする基準はほとんどなく，「値付け」を行うことは不可能であるのが現状です． 本研究では，高精度な測定基準を用いることなく，交差格子スケールのみを用いて，その測定誤差を自己較正（セルフキャリブレーション）する方法を考えました．「反転法」「2点法」といった良く知られた1次元の自己較正法を，フーリエ変換を利用して2次元に拡張する方法を取っています． >> 関連論文： JJ10, CJ31, CJ27 
図1: 交差格子スケールでの測定の様子です．ここでは，ハイデンハイン社製交差格子スケール(KGM)を使用しています． 
図2: 交差格子スケールを用いてマシニングセンタの真直度を測定した一例です（図1の機械ではありません）．Y位置を5mmずつ変え，X方向に140mm動かしたときのY方向誤差を拡大して表示しています．このように，交差格子スケールを用いれば，XY領域全体で誤差マップを評価することが比較的容易にできます．しかし，測定結果には交差格子スケール自身の測定誤差が含まれます．Y位置が変わると真直度がかなり変わっているように見えるのは，機械自体の誤差でしょうか？ それとも交差格子スケールの測定誤差でしょうか？ | |||||
